Mems And Microsystems: Design, Manufacture, And Nanoscale Engineering, Second Edition 9780470083017 pdf epub mobi txt azw3 2024 电子版 下载

书籍基本信息

书名：Mems And Microsystems: Design, Manufacture, And Nanoscale Engineering, Second Edition

ISBN：9780470083017

作者：Jan M. Rabaey, Joost N. M. F. Schmit, Pieter P. T. De Boer

出版社：John Wiley & Sons

出版时间：2011

书籍页数：960

推荐等级：8

豆瓣评分：暂无评分

书籍特色

• 全面介绍了微电子机械系统（MEMS）的设计、制造和纳米级工程
• 涵盖了MEMS技术的最新发展，包括纳米技术和微机电系统
• 提供了丰富的实例和案例分析，帮助读者更好地理解MEMS技术
• 适合从事MEMS研究和开发的工程师、研究人员和学生阅读

书籍简介

《Mems And Microsystems: Design, Manufacture, And Nanoscale Engineering, Second Edition》是一本全面介绍微电子机械系统（MEMS）的书籍。本书首先介绍了MEMS的基本概念、发展历程和分类，然后详细阐述了MEMS的设计、制造和纳米级工程技术。书中还介绍了MEMS在各个领域的应用，如传感器、执行器、微流体系统等。

本书适合从事MEMS研究和开发的工程师、研究人员和学生阅读，也适合对MEMS技术感兴趣的读者。

书籍目录

1. Introduction to Microelectromechanical Systems
2. Design and Simulation of MEMS
3. Microfabrication Techniques for MEMS
4. Packaging and Reliability of MEMS
5. Sensors and Actuators in MEMS
6. Microfluidic Systems
7. Applications of MEMS
8. Future Trends in MEMS

作者介绍：

• Jan M. Rabaey：荷兰埃因霍温理工大学教授，微电子学领域的著名专家，曾获得IEEE Fellow称号。
• Joost N. M. F. Schmit：荷兰埃因霍温理工大学教授，微电子学领域的知名学者。
• Pieter P. T. De Boer：荷兰埃因霍温理工大学教授，微电子学领域的资深专家。

书评：

推荐理由：

• 内容全面，涵盖了MEMS技术的各个方面
• 实例丰富，便于读者理解和应用
• 语言通俗易懂，适合不同层次的读者

批评意见：

• 部分内容较为深入，可能对初学者不太友好
• 价格较高

书籍影响：

本书对MEMS领域的研究和发展产生了积极的影响，为读者提供了全面的MEMS知识体系，有助于推动MEMS技术的进步。

相关资源：

电子版：

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比较：

与其他MEMS书籍相比，本书具有以下优势：

• 内容全面，涵盖了MEMS技术的各个方面
• 实例丰富，便于读者理解和应用
• 语言通俗易懂，适合不同层次的读者

与其他MEMS书籍相比，本书的不足之处在于：

• 部分内容较为深入，可能对初学者不太友好
• 价格较高

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